用于集成电路制造的清洗、蚀刻、掺杂、显影、晶圆表面处理、去膜、去光刻胶等工序中，其纯度和洁净度对产品的良率，电性能和可靠性都有十分重要的影响，随着显示面板、太阳能电池领域的发展，湿电子化学品用量进一步扩大。

半导体化学高纯检测项目

◆ 超纯单一化学品和混配类化学品的浓度

◆ 60种以 上金属杂质：Li，Na，K，Ca，Mg，Al，Ba，Fe，Cr，Ni，Cu，Ag，Mn，Pb等

◆ F^-, Cl^-, Br^-, I^-, NO₃^-, So₄^2-, Po₄^3-, NH₄^.等阴、阳离子

◆ 非金属和类金属：S，P，Si， Cl，As，Se，B等

◆ 挥发性有机物（TVOC）

◆ 超纯化学品中颗粒数

◆ 高纯气体中的颗粒数

◆ 无尘室空气中颗粒数

◆ 单一金属和混合金属纳米颗粒物的种类，粒径，颗粒数量和浓度（5nm-200nm）

◆ 超纯水测试（电阻率、颗粒物、TOC、DO、金属杂质、阴，阳离子、细菌、二氧化硅等）

◆ 超纯化学品中还原性物质的含量

可分析样品（见下表）