随着产品品质的提升及半导体工艺的升级，在工艺上所使用到的零部件都需要进行严格的测试，以防止其在洁净环境中有污染析出，同时还能反映出厂商当前的制造能力。因此，与化学品接触的半导体零部件的性能参数直接关系到后期产品良率与品质。

我们对各个parts进行静态及动态测试，从颗粒物，阴、阳离子，耐化学等级，可靠性等多方面参数来考量parts的性能。