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空气分子污染物分析(AMC-非颗粒污染物)

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随着半导体制程水平越来越高,制造过程中的环境洁净度要求,尤其是对洁净室环境及相关位置的微量杂质进行控制,对洁净度进行评价非常重要。SCA使用有效的采样技术和高灵敏度的分析方法,提供合适的洁净室AMC评估。

空气分子污染物分析(AMC-非颗粒污染物)
空气中危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质,称为气态分子污染物(AMC)

空气分子污染物分析(AMC-非颗粒污染物)
主要来源
● MA(Molecular Acids,酸性分子污染物)∶来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程以及扩散等工序,主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。
● MB(Molecular Bases,碱性分子污染物)︰来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序,主要污染物为NH3
● MC(Molecular Condensable organic Compounds,可凝结的分子有机化合物)︰来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂清洗过程,主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。
● MD(Molecular Dopants,分子掺杂物)∶来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B,H,)等,除部分在工艺中反应消耗外,其余均以尾气的形式排放。

挥发性有机物分析(VOC)
◆ 苯、 甲苯、乙苯、邻二甲苯、1,1,2,2,-四氯乙烷、乙酸乙酯、二氯甲烷、三氯甲烷、1,2-二氯乙烷、 丙酮、异丙醇、正己烷、六甲基二_硅氧烷、3-戊酮、正庚烷、环戊酮、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、对二甲苯、2-庚酮、苯乙烯、苯甲醚、苯甲醛、1-癸烯、2-壬酮、1-+二烯、溴苯、三溴甲烷、丁苯、仲丁基苯、叔丁基苯、四氯化碳、氯苯、二氯甲苯、对氯甲苯、一氯二溴甲烷、 1,2-二溴-3-氯丙烷、1,2-二溴乙烷、1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、1,4-二氯苯、1,1-二氯乙烯、1,3-二氯丙烷、1,1-二氯丙烯、六氯-1,3-二烯,异丙基苯、4-异丙基甲苯、萘、丙基苯、1,1,1,2-四氯乙烷, 三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、1,2,4-三甲基苯、均三甲苯、四氯乙烯、1,2,3-三氯苯、1,2,4-三氯苯、 1,1,2-三氯乙烷等全定量分析。
◆ 特点:热脱附或苏玛罐采样
◆ DL:<0.1 ug/m3

阴/阳离子分析
◆ 酸性物质(Acids):F-,Cl-,Br-,NO3-,SO42-,PO43-,CH3COO-
◆ 碱性物质(Bases):H4+
◆ 特点:Impinger 采样,MA/MB < 0.1 ppb(at. UPW ; lon Chromatography)

同时SCA也可提供预清洁的采样瓶
◆ 洁净PFA采样瓶(超高纯试剂专用):用SCA独特 的清洗方法,以去除PFA瓶中阳离子及颗粒物等杂质,以满足超高纯试剂痕量元素分析实验的需求,无机元素分析结果<1ppt。
● 容量:50ml、100ml、250ml、500ml
● 多元素< 1ppt (at. UPW)
◆ 洁净PP采样瓶(阴离子专用):按无尘室MA/MB要求提供Impinger采样瓶,广口瓶适合实验室操作使用
● 容量:100ml MA/MB < 0.2 ppb(at. UPW ; lon Chromatography)

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关于我们

苏州赛米肯分析技术有限公司

苏州赛米肯分析技术有限公司坐落于苏州昆山,以化学分析为基础,提供半导体和泛半导体高纯化学分析检测服务、以及超净实验室设计和完整配套等全面解决方案。

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