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国内第一家第三方实验室VPD上线!

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晶圆和器件加工过程中会带来各种金属杂质的污染,进而导致器件的失效。因此,金属的管控对半导体行业越来越重要。VPD做为晶圆分析的前处理系统,帮助精准收集晶圆表面污染,配合安捷伦8900 ICPMSMS,精确获得污染数据。
 
赛米肯是国内第一家上线VPD的第三方实验室,公司配备VPD领域第一品牌德国PVA&TEPLA WSPS系统,检测能力可以达到1E9以下。
国内第一家第三方实验室VPD上线!

一、仪器可兼容6/8/12英寸的硅基晶圆,并配备多种扫描模式,表面扫描,倒角扫描(边缘扫描),可以适用于Bare, Nitride, Oxide, SOI, Epi, Poly, bulk, implant 等各个种类的测试需求。

国内第一家第三方实验室VPD上线!
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二、同时仪器可兼容6/8英寸的碳化硅晶圆(SiC)和氮化镓晶圆(GaN),并配备亲水性扫描,完成化合物半导体独特的亲水性表面的扫描工作

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