常规料盒评估项目包括：
料盒关键尺寸评估
料盒可靠性评估
  l 开关门可靠性测试
  l 耐高温可靠性测试
  l 温度循环可靠性测试
料盒材料的评估
  l 挥发性有机物测试
   l 金属离子沾污分析
   l 离子沾污分析
   l 颗粒物模拟老化试验
   l 气密性测试

1.为什么要对FOUP/FOSB进行污染分析
FOUP（前开式晶圆传送盒Front Opening Unified Pod）/FOSB（前开式晶圆出货盒Front Opening Shipping Box）是晶圆运输转移重要的媒介，如果晶圆盒存在各种形式的污染，会导致晶圆本身洁净度存在风险，从而对良率产生影响。例如工艺过程中的污染沾污、晶圆本身的金属沾污、晶圆盒材料释放、对接设备产生的灰尘等。

2.晶圆盒污染评估
晶圆盒内部污染评估
A1.挥发性有机物测试
分析方法：使用惰性气体将晶圆盒内部进行净化后，利用TENAX取样管在一定释放温度下进行长时间取样（取样过程需注意取样管的有机物穿透的可能性）。最终使用热脱附（TD）结合气相色谱质谱联用仪（GCMS）的分析技术，对有机物进行定性及定量分析。



A2.金属离子沾污分析
分析方法：将一定量提取液（金属离子在酸性条件下比较稳定）注入晶圆盒，在一定条件下振摇后使得所有内表面均被提取液浸润完全，对提取液进行ICPMSMS分析（金属含量非常低，需要使用最高灵敏度的仪器才有可能保证准确性和稳定性）。


A3.离子沾污分析
分析方法：与金属离子类似，只是使用不同提取液，最终用离子色谱（IC）进行分析，此处不做过多赘述。
 
A4.颗粒物模拟老化试验
分析方法：1.使用DIW对晶圆盒内颗粒物进行提取，使用颗粒物计数仪(LPC)进行颗粒物分析.2.模拟在一定时间下的高温情况，对晶圆盒进行多次颗粒物提取及计数分析。



A5. 气密性测试
分析方法：利用氧气分析仪和温湿度仪在FOUP中记录不同时间的数据，观察气密性
 
 
3.SCA提供的分析服务
苏州赛米肯（SCA）配置有整体百级局部十级的洁净间，同时配置有行业先进的ICPMSMS/LPC/IC等使用内部专家半导体行业先进的技术方法，可提供以下晶圆盒污染评估服务：
FOUP/FOSB内部VOC释放评估
FOUP/FOSB内部金属元素污染评估
FOUP/FOSB内部离子污染评估
FOUP/FOSB内部颗粒物模拟老化试验及颗粒物分析
FOUP/FOSB 气密性测试