什么是超纯水
超纯水 (UPW) 不含污染物，可以满足实验室用水对特定生物、元素和有机物的指标需求。
另一方面，去离子水（DIW）是通过蒸馏过程产生的或离子交换净化以使水中不含离子。与超纯水不同，这种去离子水的质量无法保证污染物水平。由于去离子技术只是一种基于离子交换的净化方法来净化水，理论上它对其他污染物如有机、生物或大多数元素污染物的控制非常有限。尽管去离子技术可以去除离子污染物和任何带电荷的化合物，但它没有针对有机/生物污染物的去除规范，以确保水中不含所有污染物。将原水处理至超纯水，需要工艺和水处理技术来去除污染物、矿物质、微生物以及痕量的有机和无机化学物质。
超纯水（UPW）是制造半导体、平板显示器、光伏等设备的关键原材料。
 
为什么我们需要对超纯水进行检测？
半导体行业的制造过程几乎在每个阶段都需要超纯水，现在集成电路非常复杂，即使是最小的污染物也会影响电路的正常工作，所以超纯水品质的日常监控就显得非常的重要。

SCA可提供的超纯水检测服务


为什么超纯水的电阻值是18.2MΩ.cm？
18.2MΩ.cm是一个水质检测数据，用来检测水中阴阳离子的浓度，以电阻率(Resistivity)来表示。当水中离子浓度越低时，测出的电阻率会越高，水中离子浓度越高时，测出的电阻率会越低。电阻率与离子浓度成反比关系。
 
为什么我们需要在线测电阻率？
当超纯水暴露在外界环境中时，会被外界环境污染。即使是洁净实验室里的空气中也含有大量的离子，这些离子可以进入超纯水。 另外，测量电导率所用到的仪器（烧杯，电阻率仪/探针）也会带入离子污染物。正如电导率的计算公式中所示，只要离子增加都会影响电导率值，因为电导率与离子的种类和其所带电荷成正比，所以我们无法在离线情况下精确测量超纯水的电阻率/电导率。
 
如果水中离子浓度趋近于零时，为什么电阻率不是无限大呢 ?
电阻率的倒数——电导率(Conductivity) 。什么是电导率? 电导率是物质传送电流的能力，溶液的电导率与离子有关。离子越少电流就越小，离子越多电流就越大。电导率的大小与离子浓度成线形的正比关系。电导率是零的纯水(即离子浓度是零)是不存在的，因为在技术上，无法完全去除水中所有离子，H⁺和OH^-是无法去除的。当水中除了H⁺和OH^-之外，没有任何其它离子时，电导率的最低值是0.055μS/cm，而这个0.055μS/cm的倒数就是大家熟知的18.2MΩ.cm。因此，我们会使用18.2MΩ.cm来表示超纯水的纯净程度到了极限(总盐类浓度在1ppb以下)，在这种情况之下，留在水中并可以导电的阴阳离子，只剩下1×10^-7M的H⁺和OH^-。
要注意的是，有些无机物如硅酸盐等，导电的能力不高，所以电导率无法真正反映水中硅酸盐的实际浓度。
所以，当水中的总离子浓度超过1ppb时，18.2MΩ.cm这个数字就会降低。
 
超纯水不含任何离子呈中性。但是一旦超暴露在空气中，它的纯度和pH值都会明显的下降。这是因为空气中的二氧化碳会与水反应生成碳酸。碳酸电离释放出来的氢离子（H⁺）会降低水的pH值。



如今半导体行业UPW的规格中对关键阴离子、阳离子和金属元素的要求为ppt等级，以控制先进的工艺流程。虽然在线电阻率对于测定离子的大变化是有用的，但它不能提供具体的离子信息，也不能检测微量金属。因此，实验室的测试环境条件和仪器配置决定了痕量分析的检出限。SCA实验室提供的测试方法，其分析产品的灵敏度符合SEMI的标准，且可以满足客户特定的严于SEMI的SPEC。